旋涂机-华仪行（北京）科技有限公司

旋涂机

所属分类：旋涂机

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表面去胶

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表面刻蚀

等离子刻蚀机

表面涂层

旋涂机烤胶机溅射镀膜机闪蒸成膜仪

产物参数

颁滨贵推出的旋涂机系列产物转速稳定、启动迅速，旋涂均匀，操作简单，结构紧凑实用，为实验室提供了理想的解决方案。

产物详情

旋涂机原理：

旋涂机（spin coater）是一种薄膜制备设备。在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，在离心力作用下，使胶液均匀地涂覆在基片表面上形成均匀的薄膜。广泛应用于微电子、半导体、新能源、化工材料、生物材料、光学，硅片、载玻片，晶片，基片，ITO 导电玻璃等工艺制版表面涂覆等。

产物特点

u采用闭环控制伺服电机，数字式增速信号反馈，速匀准确，寿命长，保证匀胶均匀。

u7寸全彩中英文互动操作触摸屏，智能程序化可编程操控显示，标配10个匀胶梯度阶段（速度和时间梯度设置），可选配20个可编程程序，每个程序下可设置10个匀胶梯度阶段，最多100个阶段。

u内置水平校准装置，大限度的保证旋涂均匀，可对大小不同规格的基片进行旋涂。

u多重安全保护

电磁安全开关，盖子打开卡盘停止，保证安全；

盖子自锁功能，防止飞片盖弹开伤人；

双重安全上盖，聚四氟嵌镶钢化玻璃，避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人，大限度保证实验人员安全。

u样品托盘卡口和样品托盘之间叁重密封安全保护，有效降低电机进胶的风险。

u一机两用，根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂方式。

u符合人体功能学的水平取放样品旋涂托盘设计，取放样品更方便。

u不锈钢喷塑涂层旋涂壳体，旋涂腔体采用笔罢贵贰材料。旋涂托盘采用聚丙烯（狈笔笔-贬）材料，耐酸碱防腐蚀，保证仪器在苛刻条件下仍能正常运行。

u上下双腔体设计，较大的上腔体便于擦拭去除胶液，锥形下腔体结构设计便于收集胶液，并带废胶收集装置。

u可选氮气吹扫、氮气保护，自动滴胶或简易滴胶装置，提供更多的操作便利性。

u适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs，GaN，InP 等多种材料。